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      HMDS真空烘箱
      

      

      HMDS真空烘箱
      

       型號:HMDS系列
      

      HMDS真空干燥箱先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應，在硅片表而生成硅醚，消除氫鍵作…
      

      

      

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